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欧姆龙技术

MEMS流量传感器

产品特点 能最大限度发挥燃料电池发电效率的高精度MEMS流量传感器
技术特点 应用气体流量测试技术检测仅为1毫米/秒的气体流量
   

能最大限度发挥燃料电池发电效率的高精度MEMS流量传感器

作为减轻环境负担的新一代燃料电池系统零部件,MEMS流量传感器发挥着重要的作用。 燃料电池的原理就是将城市燃气中含有的氢气与氧气混合在一起,产生化学反应进行发电。为了尽量提高发电效率,需要使氢气与氧气在最佳混合比率的情况下进行燃烧。为了达到这一目的,需要发挥MEMS流量传感器的高精度测试技术。

欧姆龙采用独创的超细微加工技术,开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的世界最高级别灵敏度,甚至是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。随着燃料电池的普及,对欧姆龙小型、高性能MEMS流量传感器用途的期待也不断高涨。


技术特长气体流量检测技术

应用气体流量检测技术,检测仅为1毫米/秒的气体流量

为了检测微量的流速,就需要缩小装在MEMS流量传感器检测部位的MEMS流量传感器芯片。通过充分发挥欧姆龙独创的高精度加工技术,创造出世界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米,厚0.4毫米)的芯片。 其测试原理如图所示,在没有气体流动的情况下以加热器为中心,温度分布左右对称;如有气体流动,加热器排出的风的上方就会变冷,风的下方就会变热,从而导致温度失衡。此温度差作为两个热电偶的电动势差,可用于检测流速及流量。

另外,通过应用欧姆龙独创的蚀刻技术等,即使是这种超精细的MEMS,也能高精度地实现质量稳定的大批量生产。凭借这种高度的MEMS生产性,欧姆龙大幅度降低了产品成本,从而不仅在燃料电池方面,还可广泛应用于检测精密设备的空冷状态等各种领域。

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