1987年，震惊世界的MEMS

微电子机械系统成为焦点，也是近十几年来的事。1987年，在日本召开的国际会议(Transducers'87)宣布了一项新技术："应用半导体加工技术，在晶片上嵌入齿轮或马达等的技术已经在美国成功实现"。而齿轮或马达的大小竟然只有数百微米，跟铅笔尖触上的点差不多大小。更神奇的是如此之小的东西竟然能够自己运转……它是把电控系统、机械构件等像半导体或集成电路LSI制作过程一样集成到一个整体的微型系统，并且能使该系统发挥出高性能的一项技术。人类由此打开了微观世界的大门……全世界都为之震惊。1991年，日本的通产省启动了"微机械技术研发" 的国家项目。欧姆龙也参与其中。真正的研究由此开始了。得益于当时有"MEMS之父"美誉的麻省理工学院森图里亚(Senturia)教授的协作，我们研究出了压力传感器和加速度传感器等微机电系统。